赵王宇文招、越王宇文盛一除，杨坚当即重赏护卫自己逃离虎口的大将军元冑。当时，益州总管王谦也在蜀起兵，响应尉迟迥、司马消难。尉迟迥又致信后梁，恳请后梁发兵声援。后梁的将领竟也劝梁主发兵，梁主萧岿踌躇不决，令中书舍人柳庄去北周查探。柳庄来到北周拜见杨坚，杨坚当即握着他的手说：“从前我在江陵时，深蒙梁主的眷顾，如今国君年幼，时局艰难，感谢梁主此时还能记挂我。请大人回去代为转告，我愿意与梁主遵守旧约，共保岁寒！”柳庄回国后，将杨坚的话一字不改地转告，并对梁主萧岿说：“尉迟迥虽是旧将，但已一把年纪，随时都有可能作古；司马消难、王谦两人才能庸劣，必定没有什么大的作为。眼下，周朝的将相基本上都已归附杨氏，看来尉迟迥等人终会覆灭。我们不如保境息民，静观其变。”梁主萧岿因此敛兵不动，坐壁上观。
北周行军元帅韦孝宽已率大军抵达武陟，与尉迟迥军仅隔一条沁水，刚巧水势暴涨，两边便相持不战。韦孝宽的长史李询密报杨坚说：“总管梁士彦等人都已收受尉迟迥的贿赂，因而逗留不前。”杨坚很是忧虑，便与内史郑译等人商议，打算更换将领。李德林劝谏说：“大人与将军们同是国家的重臣，如今大人挟主示威，将军们才勉强听从你的号令。如果大人不推诚以待，总是满怀的猜疑，将来谁还肯供你差使？况且纳贿一事是真是假还没有判定，如果大人临敌换将，必会使军中人人自危，军心一散，大势便去了。”杨坚愕然道：“那现在该怎么办？”李德林献策说：“为今之计，不如立即派一位既有才干又有声望的官员，去军前暗中调查。如果将军们果真有异心，谅他们一时之间也不敢变动﹔万一他们真的叛变，也容易制驭。”杨坚大悟道：“要不是你这番话，险些误了大事。”当即派少内史崔仲方去监督各军。崔仲方因老父在山东，不愿去督军。杨坚又改派刘昉、郑译，结果刘昉以自己没有做过将领为借口推辞，郑译干脆把老母亲抬出来压阵。杨坚不禁着急，多亏司录高颎站出来请命，杨坚当即令他出发。高颎日夜兼程赶到军前，与韦孝宽商量一番，决意在沁水较浅的地方筑桥渡军，一决胜负。
尉迟迥的儿子魏安公尉迟惇令十万大军稍稍后退，想等韦孝宽军渡过一半时突然攻击。韦孝宽乘势渡桥，鸣鼓齐进，随后又毁掉浮桥，自断归路，逼得将士们人人思进，奋勇杀敌。尉迟惇被逼回邺城，父亲尉迟迥、小弟尉迟祐带着十三万部众从城中杀出，尉迟迥的弟弟尉迟勤也率领五万部众由青州赶来救援兄长。韦孝宽酣战一场，见局势不利，只好撤退。当时，邺城城下观战的士民不下数万，行军总管宇文忻叹道：“看来只好智破敌军了！”说着，竟让兵士拈弓搭箭射击观战的百姓。百姓惊骇溃散，哗声如雷。宇文忻立即大呼道：“贼兵败了，贼兵败了！将士们，为什么不乘势立功呢？”众人一听，气势大振，再接再厉，杀入尉迟迥阵。尉迟迥的部众已被百姓扰得心慌意乱，哪还禁得起敌军的大规模反攻？当下仓皇四溃。尉迟迥支撑不住，急忙与两个儿子逃回城中。韦孝宽军一举拿下邺城，并逼得尉迟迥窘迫地登上城楼。北周将军崔弘度追了过去，他见尉迟迥就要弯弓放箭，急忙脱去头盔，远远喊道：“总管大人还认识我吗？我妹妹是你儿媳呀！今天这种局面，我无法徇私，但因为是亲家，我请总管大人早些为自己打算，不要再踌躇下去了。”尉迟迥把弓一扔，破口骂了杨坚数十声，拔剑自刎。崔弘度见状，对弟弟崔弘升叹道：“你可以去取他的头了。”崔弘升当即砍下尉迟迥的首级，献给韦孝宽。尉迟勤与尉迟惇、尉迟祐三人，在逃往青州的路上被捕，韦孝宽派人将他们押到长安。杨坚赦免了尉迟勤，将尉迟惇两兄弟斩首。
接着，关东的叛吏也被韦孝宽荡平。杨坚当下将相州州城迁到安阳，毁去邺城，并把相州分为毛州、魏州。此时，北周行军总管于仲文也击败尉迟迥的部将檀让，将檀让押送到京都。司马消难听说尉迟迥败亡，吓得魂不附体，忙派人向陈朝乞援。陈军还没出发，杨坚派去的大军就杀到了，司马消难不等大军攻城，便连夜投奔陈朝。陈主陈顼任命他为车骑将军，兼任司空，加封为随公。杨坚因外患将彻底消除，便封自己为大丞相，撤去左右丞相的官衔，又杀了五位王爷中的陈王宇文纯以及他的儿子。
益州总管王谦本想等各军得胜再出兵，没想到各军都逐渐瓦解烟消，王谦心惊肉跳，非常忧虑。隆州刺史高阿那肱因被杨坚外调，而怏怏失望，随即向王谦献计。但最后高阿那肱不但没能助王谦保住军队，甚至连自己的脑袋也献了出去。
郧国公韦孝宽班师不久，便病故了，享年七十二岁。杨坚很是悲痛，追封他为太傅，赐谥号为襄。高颎随军还朝，杨坚越发宠信他，任命他为司马。刘昉的职权自此被取代，郑译也遭到疏离。杨坚虽然没有撤掉郑译的官职，却暗中告诫官属，说凡事不必向郑译禀报。郑译觉得自危，忙向杨坚请辞，杨坚出于礼貌自然将他慰勉一番。周室的五位王爷，已被杨坚残害了三人，现在只剩两位没有实权的王爷，一个是代王宇文达，一个是滕王宇文逌。杨坚仍不肯放过他们，索性诬告他们通敌叛国，勒令二人自尽。没过多久，杨坚便威胁周主宇文阐下诏，晋封自己为相国，晋爵随王。不久，又逼周主加赐他九锡礼，同时赐予他仿效朝廷设置官阶的权力。随王妃独孤氏随即被册立为王后，世子杨勇便是王太子。
大象三年二月，杨坚逼周主宇文阐禅位，他先是假惺惺地推辞一番，然后才登上帝位，接受御玺。建国号为隋，改元开皇。杨坚原本承袭父亲的封爵，号为随公，他却因“随”字中有一个寓意为“走”的部首，觉得不吉利，所以去掉那个部首，改为“隋”字。然后令有司奉册到南郊祭天。少内史崔仲方恳请将遗留下来的周氏官仪改为汉、魏时期的旧制，杨坚允准。隋朝随即置三师、三公及尚书、门下、内史、秘书、内侍等五省，御史、都水二台，太常等十一寺，左右卫等十二府，分司定职。又设置上柱国到都督共十一个等级的勋爵官位，用来鼓舞武将立功；特意晋升朝散大夫七个等级的散官，用来表彰文官的贤能。杨坚改称侍中为纳言，任命相国司马高颎为尚书左仆射，兼任纳言一职。相国司录虞庆则为内史监，兼任吏部尚书。相国内郎李德林为内史令，元冑为左卫将军。追尊皇父杨忠为武元皇帝，庙号太祖。皇母吕氏为元明皇后，册立独孤氏为皇后，长子杨勇为皇太子。
杨氏本是弘农人，相传是汉太尉杨震的后裔。杨坚的六世祖杨元寿曾在后魏时期担任武川司马一职，因此留居武川。杨元寿的玄孙就是杨忠。杨忠跟随周太祖举兵关西，随即得到普六茹氏的姓氏。杨忠的妻子吕氏在生杨坚时，满屋子的紫色霞气。有位来自河东的尼姑便对吕氏说：“这孩子骨相非凡，最好不要在尘俗里抚养他。”吕氏便托尼姑选择了一处适合静养的宅舍，带着孩子迁居到那里，尼姑也经常来探望她们母子。一天，吕氏忽然发现怀中的小杨坚头上长出犄角，遍体出现鳞片，顿时惊骇地把婴儿丢在地上。刚巧尼姑正往屋里走，她一看到地上的小杨坚，忙把婴儿抱起来说：“你惊动了儿子！害他晚些才能得到天下。”吕氏忙鼓起勇气，上前仔细打量，发现杨坚身上并没有什么犄角鳞片。到杨坚懂事的时候，尼姑早已云游到别的地方，不知下落了。杨坚踏上仕途后，屡次被周主提拔至显要的官职，并且他一再遭受周室君臣的猜忌，却总是大难不死。现在，杨坚竟篡夺周室的皇位，把北周主宇文阐贬为介公，迁居别的寝宫。又因司马消难叛变，杨坚将司马消难的女儿即宇文阐的皇后司马氏废为平民。
北周太后杨氏，起初因嗣君宇文阐年幼，很担心外族对自己不利，所以对父亲入朝辅政很是欢喜。后来她见父亲有篡位的野心，很是不平，经常向父亲表示不满，但一介女流怎么违抗得了当朝的宰相呢？杨氏只能忍气吞声，迁延过去。不久，父亲杨坚竟然篡位，杨氏更加愤惋，屡次与父亲当面争执。杨坚也自觉惭愧，不再去看望女儿，只是让妻子独孤皇后去抚慰。随后，杨坚改封女儿为乐平公主，又见女儿正值韶华，想让女儿改嫁，偏偏女儿抵死不从，杨坚也就作罢。北周太皇太后阿史那氏历经变乱，而后病终。杨坚下令按照皇后的礼仪为她操办丧事，将她安葬在周武帝陵。周太帝太后李氏与介公宇文阐迁居别的寝宫，李氏十分愤慨，最后出家为尼，法号常悲。介公宇文阐的生母朱氏也随李氏一同削发为尼，法号法净。
周氏诸位小王爷都被降为公卿。杨坚另封皇弟邵国公杨慧为滕王，同安公杨爽为卫王；封儿子杨广为晋王，杨俊为秦王，杨秀为越王，杨谅为汉王；并任命并州总管申国公李穆为太师，邓国公窦炽为太傅，幽州总管任国公于翼为太尉，金城公赵煚为尚书右仆射；又封汉安公韦世康为礼部尚书，义宁公元辉为都官尚书，昌国公元岩为兵部尚书，上仪同长孙毗为工部尚书，杨尚希为度支尚书，同族的雍州牧邗国公杨惠为左卫大将军，永康公杨弘为右卫大将军，侄儿陈留公杨智积为蔡王，杨静为道王。不久，杨坚任命晋王杨广为并州总管，上柱国元景山为安州总管，当亭公贺若弼为楚州总管，新义公韩擒虎为庐州总管，神武公窦毅为定州总管。窦毅是邓国公窦炽的侄儿，他的妻子是周太祖第五个女儿襄阳公主，夫妇俩只生有一个女儿。隋主受禅的消息传来后，窦毅不满十五岁的女儿摸着胸口叹息道：“我恨自己没有生为男儿身，不然我一定会替舅舅家除掉杨坚。”窦毅夫妇忙捂住女儿的嘴说：“不要乱说！小心招来灭门惨祸！”后来她嫁给唐公李渊，成为唐朝的开国皇后。
内史监虞庆则劝隋主杨坚彻底灭掉宇文氏，断绝后患。高颎、杨惠也随声附和，李德林却坚决反对。隋主杨坚脸色一变说：“你是个书生，不懂国家大事。”随即令宿卫各军搜捕宇文氏宗族，将周太祖宇文泰的所有儿孙全部逮捕到狱中，勒令他们自杀。不久，又将九岁的介公宇文阐害死在宫中，赐谥号为静帝。总计北周自闵帝宇文觉篡位建国，到静帝宇文阐亡国，中间历经五代国君，存在了二十五年。