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第278章 浸没式光刻机(1 / 1)


光刻技术是指在光照作用下,借助光致抗蚀剂(又名光刻胶)将掩膜版上的图形转移到基片上的技术。

最早的光刻技术出现于1822年,起初是法国人Joseph Nicephore niepce(涅普斯)试图复制一种刻蚀在油纸上的印痕。他先将油纸放在一块玻璃片上,在上面涂满了一种在植物油中溶解的沥青,经过一段时间的暴晒之后,透光部分的沥青就会变得很硬,但是在不透光的部分可以用松香和植物油将其洗掉。

这项发明出现的很早,将其使用于制造印刷电路板却已经是100多年后的故事了。

也就是二十世纪末。

随着发展,光刻机需要的光源波长,一降再降。

从二十世纪90年代开始,光刻机竞争的主战场成为了光源波长的竞争。

光源波长从365nm降低到了193nm,对应的制程也从800~250nm减小到130~65nm。

随着摩尔定律的推进,下一个节点157nm波长的光源却一直没做出来。

到了2002年7月,才有台积电的林姓博士在布鲁塞尔举办的157nm微影技术研讨会上提出了“浸润原理”的专题演讲。

在传统的光刻技术中,镜头与光刻胶之间的介质是空气,林本坚提出的这种方法就是在光刻胶上方加一层水,利用光通过液体介质后波长缩短来提高分辨率,这个方法后来被称为“浸没式光刻”,采用这种方法能够在不改变光刻机波长的情况下做出等效134nm的波长。

唐缺要弄的,也就是这个浸没式光源。

最好,是能在阿斯麦之前,做出浸没式光刻机。

确定了方案之后,两家欢喜,十几家愁。

他们都知道,如果这两个实验室真的建起来,相关专业的教授,有福了。

论文不愁。

科研经费,估计也不愁了。

唐缺单独了留下了那个光学相关的教授。

黄权坚。

“你对光刻机的光源知道多少?说一说。”

黄权坚推了推眼镜,简单说了说,基本就是上面的那些情况,唐缺都了解。

黄权坚又道:“现在是波长193nm的光源,按照定律,下一个是157nm的波长光源。听说尼康现在正在研究,你打算让我研究这个吗?”

他有些兴奋,如果唐缺真的舍得出钱,那他也能真的研究。

这在方面,他还是有一定自信的。

关键是,试验设备要好。

唐缺摇了摇头:“不。”

在传统的光刻技术中,镜头与光刻胶之间的介质是空气,台积电林姓教授提出的方法就是在光刻胶上方加一层水,利用光通过液体介质后波长缩短来提高分辨率。

这个方法后来被称为“浸没式光刻”,采用这种方法,能够在不改变光刻机波长的情况下,利用193nm的波长做出等效134nm的波长,直接越过157nm波长。

更高效。

只是,想法很简单。

但要解决的技术问题是,光刻胶上方的这一层水,不能污染光刻胶,也不能污染芯片。

黄权坚有些不解:“不研究157nm,研究193nm以上的话,可算不上最先进。”

唐缺笑着道:“教授,你听说过浸没式吗?”

唐缺简单讲了讲原理。

黄权坚看着唐缺,眼神里是无比的惊奇,唐缺竟然懂,而且是很懂。

根本不像是一个文学系的学生。

他听了唐缺的方案,神色激动:“妙啊。只用现在最先进193nm光源设备改进,相比于157nm,能降低不少的成本,可行。”

唐缺道:“你准备演讲稿,七月份参加布鲁塞尔微影技术研讨会上演讲。”

黄权坚觉得弄不到这个资格:“那都是相关的大厂,或者顶级的教授才能做演讲吧。”

唐缺一笑:“你只管演讲稿,剩下的我来搞定。”

他已经有了一个大概的方案。

能让黄权坚上台演讲。

然后,代替台积电,拿到和阿斯麦合作的权利,最差,也要和台积电,阿斯麦,三家合作。

这样,光刻机的限制,也就不攻自破了,以后不会被卡脖子。

而且,浸没式的方案,只是暂时的,领先不了多少年。

深紫外线,duv,终究不如极紫外线,也就是euv。

等拿到和阿斯麦的合作协议之后,下一步就是自研euv光刻机。

当然,这需要一个过程。

不能太慢。

但也急不得。

“我这就去做方案。”黄权坚双眼发亮动力满满,这就要投入工作。

“去吧。”

黄权坚做技术,而唐缺,则是想着怎么外联。

他记得,那个林姓教授,有了浸没式的方案之后,尽力游说好几个半导体巨头,都没有什么撑过,被拒绝了。

如果自己现在提出合作,估计并不难。

“等黄教授做出方案,立刻联系那个林姓教授。”唐缺暗暗盘算。

他相信,现在林姓教授,也在做着浸没式的方案,不过秘而不宣而已。

只要自己提前一步拿出来,肯定能镇住他。

光学定理就在那里,其实能想出来这一点,利用水折射的,肯定不在少数。

只不过怎么形成方案,又怎么往下走,很多人就不会往下思考。

只是略微想一想,水对光刻胶,对晶圆有污染,觉得不可能利用浸没式做芯片,就停止了。

先是敢想,然后有问题,解决问题,才是正确的处理方式。

连想都不敢想,还做个屁啊。

就像浸没式,略微一想,觉得不可能,再想一想,解决了晶圆可能被污染问题,不就成了吗?

——

唐缺没想到阮市长的出招,竟然那么快。

这边黄权坚的方案才刚刚开始做,那边阮市长就发难了。

不是关于大学城。

而是从游戏入手。

阮市长依然假大空,冠冕堂皇。

“我们不要只关注利益,也要关注游戏给我们带来的负面作用。像《传奇》这样的游戏,给我们带来了巨额的税收,这未必是好事。”

在阮市长的主持下,文化相关部门开始严查游戏,特别是唐缺的《传奇》。

可惜,宋刚已经调到了旅游局,不在文化部门了,帮不上忙。

唐缺也怒了:“这哥们真是不想好啊。”


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